第一三八七章 折中方案(4/4)

  EUV光刻机中至少有一半技术来自美国高科技公司，这是ASML永远绕不过去的专利技术。

    90nm制程工艺的BSEC光刻机不量产，BSEC不会申请浸没式光刻机技术的公司发明专利。